Thermal Evaporator

고(高)진공 상태에서 열을 가해 기화되는 알루미늄으로 박막을 형성시키는 증착 기술입니다.
성막 재료가 지닌 다양한 기능을 기재에 부가 하는 것이 가능합니다.

저항가열 방식 (BOAT) 증착 기술

고(高)진공 상태에서 저항체(BOAT)에 전류를 흘려 가열시키고
가열한 저항체에 성막(금속) 재료를 공급하여 기화된 성막 재료로
박막을 형성하는 증착 기술입니다. 성막 재료가 지닌 다양한 특성을
기재에 부가할 수 있습니다.

도가니(CruciblTe) 타입 증착기

도가니 안 성막(금속) 재료를 고진공 상태에서 고주파
유도가열 방식으로 기화시키고 기재에 박막을 형성하는 증착 기술 입니다.
성막 재료가 지닌 다양한 특성을 기재에 부가할 수 있습니다.

AIOx(산화알루미늄)
Thermal Evaporator

AIOx Thermal Evaporator 도입

30년간 Al 진공 증착 기술을 바탕으로 대면적, 대량생산,
우수한 균일도를 가지는 AIOx(산화알루미늄)을 High Barrier,
High Transmittance, High Quality로 생산 가능한 기술을
확보하였습니다.

AIOx High Barrier 필름 기술

진공 증착기 내에서 플라즈마 전처리를 통하여 필름 표면 OH-
및 H+ 등 극성 관능기를 형성시키고 Al ³+ 및 O²-와 결합력을
강화하여 밀착력을 항상시키는 기술을 보유하고 있습니다.