Thermal Evaporator

高真空状態で熱を加え、気化されるアルミニウムで薄膜を形成する蒸着技術です。
成膜材料が持つ多様な機能を機材に付加することができます。

抵抗加熱方式(BOAT)蒸着技術

高真空状態で抵抗体(BOAT)に電流を流して加熱した
抵抗体に成膜(金属)材料を供給し、気化された成膜材料で
薄膜を形成する蒸着技術です。成膜材料が持つ多様な特性を機材に付加
することができます。

クルーシブル(Crucible：るつぼ)
タイプの蒸着機

るつぼ内の成膜(金属)材料を高真空状態で高周波
誘導加熱方式で気化させ、機材に薄膜を形成する蒸着技術です。
成膜材料が持つ多様な特性を機材に付加することができます。

AIOx(酸化アルミニウム)
Thermal Evaporator

AIOx Thermal Evaporatorの導入

30年間AI真空蒸着技術をもとに大面積、大量生産、
優秀な均一度を持つAIOx(酸化アルミニウム)をHigh Barrier、
High Transmittance、High Qualityで生産できる技術を確保しました。

AIOx High Barrierフィルム技術

真空蒸着機内でプラズマ前処理を行うことでフィルム表面OH-
及びH+など極性官能基を形成しAl ³+及びO²-との結合力を
強化して密着力を向上させる技術を保有しています。